Материалы микро- и наноэлектроники (11.04.04)

Спецпрактикум посвящен получению нанопористых и нанотубулярных слоев оксидов металлов методом анодного окисления, синтезу углеродных нанотрубок методом каталитического пиролиза этанола на различных типах катализаторов, а также получению наноразмерной керамики на основе оксида алюминия. Подробно рассматриваются современные технологические подходы, позволяющие формировать компакты наноструктурных материалов на основе широкозонных оксидов с заданными функциональными свойствами. Применяются на практике методы электронной микроскопии и люминесцентной спектроскопии при диагностике синтезированных наноматериалов.